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第五十五章 进击的材料(3/5)

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“869号实验材料,第5次实验,厚度05微米,光分解速度1673秒……”

“将x光机的激光能级调低为45瓦每秒。”

激光再一次划过工作台,上面的光刻胶实验品被快速的分解,检测仪器迅速测量出相关数据。

“869号实验材料,第6次实验,厚度05微米,光分解速度1934秒……”

在实验室外面。

黄明哲看了看数据,果然要研发出x射线高敏光刻胶不是那么容易的。

光刻胶实验室到现在为止,已经测试了869种光刻胶新材料配方,但是最优秀的一种材料配方,是厚度05微米,在40瓦每秒的x射线照射下,1244秒完成光分解。

这个参数距离预订目标还差的远,根据神光仪器和材料研究所的联合评估,如果真的要和极紫外光光刻机竞争,至少要达到厚度05微米,在40瓦每秒的激光照射下,5秒以内完成光分解。

“老马,你们任重道远啊!”黄明哲转过头说道。

“社长,我们一定竭尽全力,将x射线光刻胶搞出来。”马知力坚定的回道。

其实现在材料研究所的进度已经非常快了,他们通过光敏材料规律模型的筛选,至少将材料研发成本压低了上百倍,研发效率同样提升了上百倍。

不需要通过穷举实验法一个个去试错,极大的压低了非常多冗余工作,这种研发速度是非常惊人的,相当于一年干了一百年的工作。

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